下午五点。
杨玄跟着陈新龙抵达国家科学院微电子研究中心,下了出租车,便看到大门前站满了人。
为首的是一名七十多岁的老太太。
不用陈新龙介绍,杨玄一眼便认出了,这人就是国家微电子研究所的主任吴德欣。
一名很强的女性。
“吴教授,幸会幸会。”
杨玄秉承着尊敬姿态,主动迎前:“没想到我的一份设计稿,会引起这么大的惊动。”
“噢……你就是那个光刻技术的天才孩子?”
吴德欣老教授颇为惊讶的看着杨玄,伸手紧紧握住:“好好……我就说,咱们这个民族,一定能强过洋人的。”
“吴教授,您才是我们的国家微电子的功勋。”
杨玄深知吴德欣的履历。
就算是前一世,自己所在的手机硬件领域,每次和一些芯片专家接洽时,几乎一大半都是吴德欣的学生。
“哈哈……不行咯,老咯。”
吴德欣教授笑呵呵的的转过身,指着旁边几名同样年过古稀、花甲的老人开始介绍。
“小伙子,你的那份设计稿,牵扯到的核心技术,太高深了。”
“以我们国家目前的光刻技术水平,还是很难领会的……”
“所以,为了这次能好好跟你学习,我打电话叫来了这些老同学。”
“这是光学研究所的彭思军彭教授,这是半导体研究所的黄振东黄教授,这是环境工程研究所的徐新国徐教授,这是化学研究所的沈从义沈教授……”
“我们都带了自己的团队,等一下,你可以放心的跟我们讲……”
“因为光刻技术涉及领域太广泛,我怕一个微电子领域的工作人很难全部听懂。”
吴德欣教授没有任何高高在的架子,面对杨玄的时候,也像个学生一样,保持着谦卑。
“小伙子,你好……”
“小伙子,你现在是我们的老师了……”
“小伙子,你居然还是个高中生……”
“不得了不得了……”
光学、化学、半导体和环境工程四个研究所的老教授纷纷凑来,热情的和杨玄握着手。
然而。
杨玄却受宠若惊极了。
这一下,几乎将科学院三分之一的研究中心都给叫来了,还让自己一个毛头小子来课。
别说是重生后,就算是重生前,以杨玄的知识水准,哪里够得。
“诸位前辈,诸位前辈……”
握手之后,杨玄哭笑不得的双手合十:“折煞晚辈了。我只是懂一些粗略的设计理念,具体的研发技术,还是要靠诸位前辈。”
“小伙子,你就不要谦虚了,走走……”
吴德欣教授宛若宠溺自己孙子一样,拉着杨玄的手,不再啰嗦,转身进入了微电子科学院。
除了这五位德高望重的老教授,身后还有一大批的学生。
有三四十岁的中青年,也有二十岁左右的小青年,一个个鼻梁架着眼镜,怀里抱着笔记本,皆是满脸一副崇拜的模样。
杨玄粗略估算了下,现场至少一百多人。
这是何等的阵仗。
要知道这可是龙国科学院啊,可是国家光刻技术领域最顶尖的技术团队了。
一间足足两百平方左右的教室,推开门,里面摆放了几台光刻机,还有讲台、讲桌。
吴德欣拉着杨玄了讲台,招呼着众人坐下,自己又拍着杨玄的手,仰头嘱托。
“小伙子,我看你这一路,都好像很紧张。”
“没事儿,别怕……不管你这些想法是对还是错,都放开了讲。”
“我们这些老家伙虽然了年纪,可一辈子都是学生。”
“能在这个岁数,遇到你这么一个老师,也是我们的荣幸。”
说完,吴德欣教授转身慢悠悠的下了讲台,在助手的搀扶下,坐到了学生桌子。
很显然。
杨玄现在是被赶鸭子架,带自己来的陈新龙,这时候也已经化作小迷弟,远远坐在角落里,等待着听课。
得!
反正是到了这一步,再退缩也没意义。
杨玄深吸了口气,决定凭借自己对未来十五年的所知所见,进行一番大胆的开讲。
“诸位前辈,在讲解之前,我先说一下,目前,世界掌握高端光刻技术的几家机构。”
“传统型光刻技术,已经不具备市场优势……”
“2002年DUV技术在干法ArF后期演化成2条主要进化方向……”
“其一是用157nm的F2的准分子光源取代193nm的ArF光源。该方法较浸没式ArF更为保守,代表厂商是尼康和佳能。”
“其二,采用台积电林本坚的方案,依然使用193nm的ArF光源,但是将镜头和光刻胶之间的介质由空气改成液体。”
“193nm的光经过折射后,等效波长为134nm,从而实现比F2光源更高的分辨率。”
“浸没式ArF的代表厂商是ASML和湾湾积体电路。由于F2光源无法穿透水,因此无法和浸没式技术相结合,进一步提升分辨率。ArF湿法在光刻精度胜于F2。”
“以ArF浸没式为切入点,ASML成为DUV时代龙头。”
“2002年湾积电林本坚提出ArF浸没式方案,随后ASML在2003年成功推出第一台浸没式光刻样机。”
“尼康将也在明年会顺利推出ArF浸没式光刻机,但市场先机早已被ASML夺走。”
“伴随着ASML和湾湾积体电路ArF浸没式技术的成功,ASML和台积电实现了双赢。”
“在光刻机领域,ASML开始奋起反超尼康;湾积电也成为第一家实现ArF浸没式量产的公司。”
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