国家科学院。

微电子研究所。

当杨玄赶到地方的时候，被面前的景象吓了一跳。

又是一次的课堂，又是一次的时间点。

可是，这一次，却惊动了一大批科学院的人才。

国家科学院有百个研究所，分散在全国各地，现在杨玄目光所及，感觉位于帝都的研究所人员几乎都到齐了。

教授、专家、院士、还有诸多科学院的精英。

微电子研究所主任吴德欣吴老，率先迎了来，握着杨玄的手，呵呵直笑。

“小杨，新闻看了吧？人家米国佬又开始吓唬咱了？”

“看了看了。”

杨玄极为谦卑的和面前每一个德高望重的老先生握手问好。

科学院副院长林汲泉最后一个握住杨玄的手：“魔都微电子是国家企业，米国佬这些年，一心想搞技术的新殖民。”

“小杨，我知道深市的玄晖科技和麒麟半导体，是你家做的。”

“但是，你知道吗？全球最大的光刻机公司ASML，背后就是米国。”

“资本国际集团和贝莱德集团，把持着ASML，现在在光刻领域，全球所有行业，都得看他们的脸色……”

“咱们国家，以前看别人脸色，看的太多了。”

“你如果能有这方面的想法，我代表科学院，欢迎你的到来。”

林副院长年近七十了。

他们这一辈人，见证了国家这一路的艰难成长，见证了整个民族的慢慢崛起。

他们对洋鬼子，有着从骨子里迸发的仇恨和怒气。

“林老，我知道。”

杨玄每次来科学院，每次都惭愧的想找个地方藏起来。

他真的不是专业人才。

只不过是在前一世，因为华威通讯被米国制裁时，无聊之余，经常在网络翻看光刻机的技术理论和设计方案。

看得多了，也就记住了。

要说优势，或许是因为杨玄站在十几年后的技术层面，来回顾当下的技术瓶颈，就显得容易多了。

“诸位前辈、老师……”

杨玄双手抱拳，冲着一大群老教授老院士，惭愧道：“我今天还是从宏观概念说一些想法，在这里的每一个人，不管是从年纪和专业知识，都是我的老师。”

“所以……杨玄接下来，就献丑了，如果说的不对的地方，诸位前辈多多包涵。”

这都是国之栋梁啊。

不管是处于国家的情怀，还是个人角度，杨玄真不敢卖弄。

人家兢兢业业一辈子，任劳任怨，毕生都在为国奉献。

而自己，重活一世罢了。

境界高度，相差太远。

哪怕身价几千亿，都不如这些国之功勋。

“好！好！小杨，你继续说就行了……”

吴德欣老教授带着近视镜，满脸慈祥的挥挥手，示意杨玄放松。

数百名科学院人才聚集在偌大的讲课场地内，头顶的白炽灯多出来了十几根，光线明亮。

墙壁的黑板，要比次杨玄来时，扩大了许多。

一些了年纪的教授专家，坐在最前排，年轻的向后站。

渐渐地。

整个场合安静下来，所有人将静静看着讲台的杨玄，看着他手持粉笔，快速在黑板绘图。

前面说过，光刻机的工序非常复杂。

其中不仅仅是激光器是核心技术，运载系统、激光系统、传感器、光学系统等其他几个方面，同样也是核心技术。

准分子激光器，只是基于其他技术达不到的情况下，作为杀手锏的存在。

但现在，杨玄希望，国产的激光器，最好所有环节配件都是自主研发。

连续用完两根粉笔，杨玄才将一台光刻机，解剖式的绘制在黑板。

将里面的几个大型配件，逐一陈列分散开来。

“诸位老师，何兰的ASML，正在研发新一代的光刻机，既1900i型号。”

“但据我所知，1900i型光刻机，同样还是沿用了arf193nm光波，只是提高了激光切割尺寸。”

“也就是说，他们原来的配件并没有变化，只是将准分子激光器的功率提高了。”

“但ASML未来的光刻机，既euv光刻机，就是我黑板画的这个样子……”

说着，杨玄从第一个开始讲起：“除激光技术之外，还有六大核心技术。”

“架构设计：与光学光刻公用平台，针对真空腔与反射式曝光系统开展系统设计。”

“全反射，非共轴光学系统。”

“高速、高精度运动台与控制技术。”

“大功率、高可靠性光源。”

“传输过渡腔体、控制污染与颗粒进入主真空腔。”

“传感器真空兼容性设计。”

“高真空性环境下的研究：既密封性设计、材料抑制释放污染。”

来科学院之前，杨玄没有准备相关的设计方案。

从而导致讲课的时候，很难像之前一样，有条不紊，逻辑清晰。

眼下，他只能绞尽脑汁，搜索自己前世2021年所看的所有关于光刻机的论文。

相信凭借十六年后的论文方案，对于提升当下的光刻机技术，帮助应该是极大的。

但这也不是杨玄的功劳

而是几十年来，光刻技术领域所有专家的结晶，从业者编写成论文，让杨玄有了装逼的砝码。

“小杨，你先主要讲讲，光学系统领域的问题。”

台下，光学研究中心主任眯着眼睛询问道：“从你次讲完课，我们成立了一个课题小组，到目前，关于提高反射率的难题，始终没有功课。”

杨玄停顿了下，转身道：“老师，光学系统环境中水分子和碳氢化合物是导致反射率降低的主要原因。”

“这些水分子和碳氢化合物可能来源是材料表明的放气、泄漏和真空系统自身。”

“在高能量光照下水分子会氧化Mo\/Si，碳氢化合物会分解，在反射镜表面沉积一层碳膜。”

“数据显示反射镜表面沉积0.3nm的氧化层便会导致约1%的反射率损失。”

“所以，您可以尝试，在Mo\/Si层中加入Rh、Sr等材料；对每一层材料厚度做优化以及使用B4C作为保护层。”

双十一看书天天乐，充100赠500VIP点券！

(活动时间：11月11日到11月11日)