返回第三十二章:光刻机最大问题找到!(1 / 1)欢然然首页

关灯 护眼     字体:

上一章 目录 下一章

光源组的进度明显要比透镜组的进度要慢得多。

因为透镜组完成的只是按照图纸完成组装而已,核心的光掩膜延用一代,一天就能拿下。

但是负责光源的小组就会面临很多前所未有的难题。

比如液态金属锡低落的时间,激光发射的时间,命中率等等。

图纸可以把硬件做出来,但是这些精准的数据,需要将各种公式和逻辑放入系统之中,让系统来操控。

所以,给光源的部分设计一个系统才是重点。

如果滴落的液态金属锡过大,那么激光的强度就会衰弱。

就好比扬起一把沙子之后在用光照射,那么沙子的浓度越高,光就越难以穿透。

如此一来,控制一滴金属锡的大小浓度需要经过计算。

取到一个最恰当的值,录入系统,让机器来操作。

同样的还有命中率。

极紫外光和合成最关键的就是用深紫外光轰击液态金属锡,而且是两次!

当液态金属锡变成雾状的离子态,必须在极短时间之内,完成第二次深紫外光的命中。

穿过离子态金属锡的光,才能是极紫外光。

如果命中率低,第一次没命中,或者第二次没有命中,都会错过最佳时间,导致极紫外光无法产生。

这样下来,命中率必须达到100%!

设计这些东西极其耗费时间。

一周的高强度工作状态下,才算是搞定了这个巨大核心。

而另一边的移动工件台是有一个不弱于光源组的难点。

有何毅伟坐镇,当陆晨加入工作的时候,移动工件台的一些难点已经克服。

三大核心用了半个多月才终于完成。

...............

光刻机的内部硬件已经组装完毕。

又过了几天,光刻机已经成型。

他们开始了第一次芯片制造的测试。

何毅伟和一众教授都来到了实验室的总控台。

陆晨为了观察光刻机的一些运作情况,穿了防尘服,进入净室。

看到陆晨进来,几个工作人员纷纷打招呼。

陆晨点点头,来到了光刻机的旁边。

这台光刻机经过他的设计之后,体积远远没有国外的庞大。

国外的光刻机得有一个集装箱的大小,但是陆晨设计的这一款,只有一半的体积。

在经过他的检测之后,光刻机的状态全部确认完毕。

给总控台比了个手势,净室里的扬声器传来了声音。

“第1次光刻实验,启动!”

总控台一声令下,涂胶后的晶圆被机械臂吸起,放到了光刻机的履带。

随着履带的转动,晶圆进入了机器。

“光源放光!”

指令还没说完,光刻机的屏幕突然一黑。

“怎么回事?”

主控台传来疑问。

“报告,液态金属锡未被击中,滴落面板导致短路!”

实验显然以失败告终!

陆晨眉头皱了起来。

没有命中,这说明光源的部分还是出了问题。

需要再次调校才能开始第二次试验。

大家并没有气馁。

因为成功一定是一次次的失败之后才能出现的!

停机修整之后。

很快,第二次实验开始。

“报告,双移动工件台同步对准出现异常,导致光刻胶涂层大面积曝光!”

第三次。

“报告,芯片良率太差!”

第四次……

第五次……

经过很多次失败之后,科研小队渐渐开始着急了起来。

所有人都在反复确认各项数据和资料,因为这样每拖一天,都是极大的损耗!

凌晨三点。

大部分的工作人员全部下班回到了宿舍休息。

而在办公楼,还有一个房间在亮着灯。

会议室内,各个小组的负责人开始向陆晨汇报检查结果。

每次试验失败,都要各个小组回到办公室重新做一遍排查。

每一个细节,每一个关键点!

都要像重新制作一样,重新开始。

科研是枯燥的。

很多科研项目一拖就是好几年,很大部分时间,就是在重复的排查被浪费!

不过陆晨心里并没有太多压力,这几天他逐个排查各个小组工作。

从透镜组到光源组,然后是移动工件台,还有各种系统源文件。

一项项都没有问题,只有最后的系统文件没有查看。

他坚信,今天一定能找到问题所在!

此时各部门开始了汇报。

“光源组一切正常,所有数据代码设定全部确定完成。”

“透镜组一切正常,在暗室反复试验之后,都没有任何问题。”

“移动工件台一切正常,同步对准功能无延迟。”

“eda软件运行正常!”

“系统无漏洞……”

“……”

听完这些汇报,陆晨点了点头道:“大家明天再做一遍检查工作,一定是还有地方存在问题。”

不少人小声的议论着,离开了会议室。

在各个负责人离开会议室之后,陆晨打开了系统的源文件代码。

这都是编程语言,各种复杂的代码罗列在眼前。

一旁的何毅伟叹了口气:“小陆,你也回去吧,睡饱了,明天打起精神来!”

陆晨微微颔首:“老师,我把这最后的地方排查完就回去,您先去休息吧。”

何毅伟见状也只好点头。

他知道,陆晨一旦工作起来常常忘记时间!

通宵工作也是常态。

这次明明说好要他按时下班,但是因为项目,何毅伟没有办法。

他最担心的还是陆晨的身体,年轻人就算是再有精力,也不可能抗住这种高强度的工作。

他也想留下来和陆晨一起,但是奈何他年过花甲,实在是不能和年轻人比。

正当他准备收拾资料准备离开的时候,陆晨突然开口:“老师,找到问题了!”

“什么?”

还没离开的何毅伟猛然回头,立刻来到了陆晨身边。

“这里有BUG,不过问题不大,我可以立刻开始修整。”

陆晨指着电脑屏幕复杂的代码,立马开始了重新编译。

何毅伟心里微微一惊,这可是编程啊!

按理来说,应该交给相关部门才能排除才对,即便是他自己也做不来!

他还是第一次发现陆晨居然有这个技能,忍不住有了一个疑问:这小子到底还会多少东西!?

元旦看书乐不停,充100赠500VIP点券!

(活动时间:1月1日到1月3日)

『加入书签,方便阅读』

上一章 目录 下一章