随着中控室的一声令下，科研人员在控制面板输入了指令。

不一会儿，机械臂吸附起了一块12英寸的晶圆。

放入正在传送的履带之后，晶圆被拖动进入了黑色的光刻机之中。

旁边的操作人员紧张的汇报着数据。

因为过于紧张，连声音都有些颤抖。

“报告……系统程序启动成功！”

“电压稳定设备运行正常！”

“监控设备运行正常！”

“EDA软件运作正常。”

“……”

一个个汇报声传来，每一个声音都是对一个步骤的确认。

在各个工序全部确认完毕之后，极紫外光刻机终于启动了！

“光源放光！”

此时整个研究室鸦雀无声，落针可闻！

看着屏幕的缓缓拖动的进度条，大家仿佛开始在幻想，光刻机里正在发生的事情。

由40千瓦驱动的深紫外光脉冲照射在从方滴落的液态金属锡，金属锡被轰成等离子体，随后光源再次放光，深紫外光闯过离子态的锡雾，变成了极紫外光的动感光波。

光线闯过透镜组，经过重重聚焦集束，随后反射折射，最终落在移动工件台的表面。

台托着的硅片被光线照射，表层的光刻胶因为曝光而疲软溶解，晶体管的纹路就如同雨后春笋一样冒了出来。

没错，光刻机不是用光来雕刻硅片，而是用光来腐蚀“见光死”的光刻胶。

陆晨仿佛可以听到，机器中滴落的液态金属锡被光脉冲轰击的声音。

其实这个过程发出的声音，以人类的耳朵根本不可能捕捉。

但是他总感觉能隐约听到，那种光脉冲释放时发出的，仿佛急促大风的呼啸声。

除了仪器发出的细微声响之外。

整个净室，哪怕大家相距胜远，都能听到彼此的呼吸和心跳！

陆晨目光在这一刻死死地盯着主控台的主屏幕，看着显示屏幕的光刻进度条。

进度条一点点的衍生，他的手心微微发汗。

这是他第一次负责这种国家级的项目，紧张在所难免。

最关键的是，他已经完成了全部的问题排查！

各个部门，各个小组！

甚至每一个人的工作。

全部被他查了一遍！

如果这样还无法成功，那么就说明，这个图纸出了问题！

极紫外光刻机太重要了。

有了它，只要有了芯片图纸，就可以制造出来相应的芯片！

无论是现在的7nm，或者国外刚刚出来的5nm，还是传言三年后才能研发出来的3nm！

极紫外光刻机都可以做到！

终于，在大家的期待之下，进度条成功拉满！

一块晶圆被吐了出来，机械臂再度将其抓起，放入了烘焙机。

按理来说，这一步光刻机的工作已经完成。

但是这并不代表成功。

因为没人能知道，这块芯片是否具备实用性。

就好像是超市买的包子，谁知道里面有多少馅儿？

硅片曝光之后进行后烘，将近一百度的热风吹了硅片一分钟。

加热后光刻胶之中的光化学反应充分完成，消除掉光刻胶显影之后因为驻波效应产生的纹路。

这还没有完成。

硅片很快被放入了刻蚀机。

这个步骤不复杂，只是将暴露的单晶硅腐蚀掉一层。

露出光刻后的凹槽。

然后注入离子，让单晶硅拥有晶体管开关的特性。

在用铜进行晶体管间的连接工作。

在芯片彻底产出之前，大家都不敢说话。

时间一分一秒过去，终于到了切割的步骤。

终于，晶圆被切割成了700片小的芯片。

陆晨这个时候立刻去开始查看数据。

随后他疲惫的脸露出了一抹轻松。

他看向自己的老师，对方已经明白了结果。

“我宣布，国产第一台极紫外光刻机，研制成功！”

声音徐徐落下，所有科研人员都猛地起身，发出了雷鸣一般的掌声！

甚至有的人激烈的拥抱在了一起！

“成功了！！！！价值十亿的光刻机啊！！！！”

“总算打破垄断了！！”

“现在，我们在议价方面底气十足！”

“……”

极紫外光刻机就是炒锅！

有了锅，就不怕做不出饭！

接下来，只要研究出5nm或者3nm的图纸，这台光刻机都可以进行生产！

陆晨松了口气，这次生产的是7nm芯片。

过几天，他就可以把5nm芯片的图纸拿出来了。

此时几位教授也老泪纵横。

他们没想到居然真的成功了！

看着在净室里指挥最后工作的陆晨，几个教授感慨了起来。

“小陆干的漂亮啊！”

“何院士，这下你可开心了吧，不得趁这次机会，好好让陆工提升一下职称？”

“就是，怎么说也是下了血本的，图纸都让给宝贝徒弟了。”

一听教授们这么说，何毅伟顿时回头：“什么图纸让给徒弟？”

张教授笑了笑道：“你就别装了，这光刻机的图纸不就是你做出来，让陆晨这孩子立功？”

几个教授相视一笑，他们也挺佩服何毅伟的，把这么大的荣誉让给自己学生。

这个项目到了以后进入商用，带来的分红可是非常惊人的！

旁边的工程师也都竖起了耳朵偷听。

何毅伟顿时皱起了眉头：“谁说这图纸是我画的？！”

“你们可太瞧得起我，要是能画出来这些图纸，我早就放到每年的学术报告会作秀了，还会等到现在？”

张教授眉头一跳：“你意思说，这图纸全都是陆晨这孩子做的？”

“那当然！我把那天晚的邮件发给你看看？”

这下所有人都看向了净室里的陆晨，眼中满是惊异。

既然是何毅伟亲自开口确定，那肯定是没错了！

可是陆晨这么年轻，就算是天才，也不可能对光刻机如此了解吧！

国外可是一直在强调，就算是把光刻机拆开给他们这帮专家仔细看，都不可能仿制的出来。

那么陆晨连国外都没有去过，怎么会凭空拿出来光刻机的图纸？

这岂不是说明陆晨的能力已经远在他们之！？

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