EUV光刻机的核心技术，主要由三大系统构成。

首先是EUV光源系统，这个系统负责制造光刻过程中，需要用到的特殊光线。

从第一代的UV光刻机，到第五代的EUV光刻机，光线的波长也从436nm，缩短到了13.5nm，目前所有的光刻机，就是通过光线的不同，来区分技术等级的。

这其中主要涉及到的原理，就是光学中光线波长和清晰度的关系。

最简单的道理，就是进入黄色的钨丝灯房间，大部分人都会感觉视线昏暗，

哪怕多加几个灯泡，也始终感觉没有白色的LED灯那么明亮和清晰。

这就是因为黄色光的波长，要远高于白色光，

光线的波长，就像是海浪一样，越大的波浪，拍打在海防堤上的水位高低起伏就越大。

而这個水位的高低落差，换成在光学领域，就成了影响阴影边缘清晰度的重要因素。

因此，想要达到越小制程的芯片工艺，就需要波长越短，越无限接近绝对直线的光。

而在EUV光源技术上，据康驰目前所能查到的资料来看，国内的常春光所应该也已经接近突破的边缘了，但具体到了哪一步，康驰也不清楚。

他打算先试着了解一下情况，

如果条件允许，价格合适的话，他可能会直接向他们进行采购，

哪怕技术稍微不达标，采购过来自己再进行改良优化，也能节省大量的时间和精力。

毕竟一台光刻机里面，有足足十几二十万的零部件，全靠大唐重工自己来做的话，那得搞到猴年马月去。

而向他们采购，既不浪费他们的科研成果，还能利用上他们的生产力，

也算是共赢了。

所以康驰这次，并不排斥自己成为组装、调试和改良的角色。

放着华国这么完整的产业链不用，反倒自己去搓每个螺丝，不但浪费国内这么好资源和基础，更是闭门造车吃独食的表现。

而能用本国的产业链，来完成一台光刻机的所有零件制造，全球有且只有一个国家才有可能做到，

那就是华国。

换成老M也不行。

他们也没办法只在本国，就找到光刻机全部零部件的供应商，得全球多国合作协同才行。

而巨大的资源协调成本，更是会大大加重整个研发项目的费用和时间，

这也是华国的很多产品，能做到成本远低于国外厂商的主要原因之一。

总之，无论常春光所有没有突破EUV光源的技术，康驰都可以尝试着借用他的研发制造能力，来迅速获得一套可行的光源系统。

现在光刻的光有了，

下一步就是把光，通过一个光学系统，收集并投影到涂上了光刻胶的硅片上面。

这个光学系统，也是整台光刻机中，造价成本占比最大的。

这部分康驰准备对大秦光学的镜头生产线，进行升级，然后把它给拆了，直接获得光刻机镜片和反射镜制造，所需要的大部分设备零件。

这么做的效率无疑会高很多，

而且升级后的生产线，估计连解析项目都没有，

因为里面的大部分技术，康驰在解析光刻机的时候，就已经得到了，他本人拥有非常大的解释空间。

唯一的缺点就是，需要他在接下的项目中，进行一定的混淆视听，把这些拆分开的组件，神不知鬼不觉地掺到整个项目里去。

嗯，

就是欺负严辉他们对光刻机没啥研究，

到时候估计也是康驰让他们干什么，他们就干什么，思考空间并不多。

至于光刻机最后的一个关键系统，则是承载硅片的双工件台系统。

它的工作原理很简单，就是在光刻中不断的挪动硅片的曝光部位，但其中的技术含量其实非常大。

因为这个工作平台必须快、准、狠。

速度，决定了光刻机的效率，

移动太慢了，光刻机的产量就不行，

这就要求它，在高速移动后，还得迅速且精准地停下，

停留的位置误差，还得在1nm以内，

但凡偏差大一点，整个晶圆就直接报废了！

这啥概念？

大概就是一辆高速行驶的汽车，突然紧急刹停，然后停下位置误差还不能超过1毫米。

不过这个难点，在今年5月份的时候，刚好被铪工大给搞定了，

他们研发出来的真空高速超精激光干涉仪，位移的分辨率达到了惊人的5pm，位移误差控制在了30pm！

要知道，1000pm才等于1nm！

0.03nm的位移误差，简直牛逼到不行！

康驰简直怀疑，他们是不是和自己一样开了挂……

讲真，华国能人还是挺多的，

如果不靠系统，康驰自己虽然也有一定的把握可以攻克这种技术，但时间就不知道要多久了……

所以康驰一直也不断地在提醒自己，虽然系统确实好用，但自己学习和理解的脚步同样不能停下。

这不但是为了在解析技术的时候，减轻自己的痛苦，免得突然暴毙，更是为以后万一出现精通点不够，需要自研的情况出现时，不至于两眼一抹黑啥也干不了。

总之EUV光刻机的大部分技术难点，其实华国都已经攻克或即将攻克了，只不过具体哪些能够复刻落地量产，还是个未知数。

为了得到答案，康驰特地打了个电话给吕首长。

当听到康驰问光刻机的事情，吕首长顿时就打起了精神，连忙问道：“你准备搞光刻机研发？”

“嗯，有这个想法。”

“搞光刻机好啊！嗯……不过你不是忙着量产采油虫吗？哪来这么多的时间精力研发光刻机？”

“抽空玩玩呗……”

“……”

随后康驰又在吕首长的沉默中，咨询了关于常春光所EUV光源系统，和铪工大双工件台系统研究情况。

“嗯……他们确实都有了一定的突破，但具体到了什么技术节点，还有多久能实际落地，我也说不准……你可以找张院士问问，这方面他比较清楚。”

于是康驰挂了电话后，又拨通了张达远的电话，

结果张达远一听康驰的问题，直接就说电话上讲不清楚，让他过去燕京面谈。

康驰强烈怀疑，这老头就是想把他骗过去，忽悠他搞那个啥稳态微聚束光源，

但为了争取缩短光刻机研制周期的机会，康驰也不得不从了他……

反正过去后任他怎么说，康驰就是不跟他干，

他还能把康驰给扣了不成？

……

经过了两个多小时飞行，康驰在天黑前就抵达了燕京国际机场，

前来接机的是陈海的同事，三人汇合后，便直奔HEPS项目部。

经过层层安检和报备，康驰终于项目部里面，见到了带着安全帽，穿得像工地工人的张达远。

看到这个已经年近七十的老人，竟然还能精神抖擞地深居一线，亲自参与实验工程的建设，康驰也不禁感到有些佩服。

“张院士，好久不见了。”

刚见面，康驰便主动和他握了握手，赞叹道：“您可真是宝刀未老啊。”

“那必须的。”张达远得意地拉着康驰，“走走走，先带你参观参观。”

面对张达远的热情，康驰自然也不好拒绝，

何况他本人，其实对这里也挺好奇的，于是便跟着张达远，在这个正在建设中的高能同步辐射光源里面，简单地转了一圈。