“徐教授,你们的光刻机明明做得很成功,为什么项目突然终止呢了?”
听到张思明的追问,徐端颐欲言又止。
他看了看王院长,王院长点头说道:“没事,张总不算外人。”
徐端颐又叹了口气,解释道:
“今年3月,国家召开第一届‘全国工业企业技术进步成就展览会’,我们的光刻机被选在主展览厅对外展示。
这本来是一件大好事,参加的不仅是企业、媒体记者,还有许多国内外的权威专家,展览会的消息都上了《中夏日报》,好多电视台也报了。
我们团队得知这个消息后,所有人都十分高兴,我们都以为中夏的光刻机即将走向世界,总算是能够让其他国家看到中夏的成果。
展览会开幕后,我接到了上面的电话,说有个重量级的外国代表团要来参观,必须要我亲自接待。
我到场以后,王首武先生陪同一个外国代表团来到我们的展位参观,随行的还有很多记者。
我一开始不知道那些外国人是什么身份,我也不敢多问,就是陪在一边,人家问我什么,我就回答什么。
那些外国人对我们的光刻机很感兴趣,看得非常仔细,一开口问的就是很专业的技术问题,我这才知道,他们都是丑国和倭国的光刻机专家。
那些丑国人和倭国人围着我们的光刻机看来看去,有些人还趴在地上看里面的结构,甚至还想把外壳拆开看看,我们虽然觉得有点不太好,但中夏被孤立得太久了,我们非常迫切地希望得到国际上的认可,所以对他们的各种行为都没有阻止。
不仅如此,如果他们问到我们机器的设计理念、工作原理,甚至是构造上的细节,我们也都毫无保留地解答了。”
听到这里,张思明忍不住说道:
“徐教授,可不能这么做呀!
我们赵总经常搞发明,搞出来的第一件事就是申请全球专利,他特别注重知识产权和智慧成果保护。
要我说,你们的设备最多就是给别人展示一下功能就行了,内部的结构、采用的技术都是知识产权,是需要保密的!”
徐端颐苦笑着说道:
“中夏的知识产权保护意识薄弱,我们又都是在学校里搞了一辈子技术的书呆子,哪里懂什么‘知识产权’,也不知道保密。
我现在能知道‘知识产权’,还是出事以后专门去查的资料,之前从来没有了解过这方面。”
张思明急道:“所以是咱的光刻机被人仿造了?”
“倒不是这个原因,虽然咱们这款光刻机只有为数不多的国家可以造出来,但是丑国和倭国还是已经掌握了这个技术的。
几十年来,光刻机都不能出口到中夏。
我们研究光刻机,没有任何途径获得外国资料,也没有外国专家帮助,一切都只能靠我们自己。
没有外国专家帮助,所有的科学研究只能靠我们自己。
所以,当丑国和倭国专家看到我们已经研发出第三代自动对准分步投影光刻机时,他们是非常惊讶的,他们完全没有想到中夏能造出自己的光刻机。
(这里的第三代只是中夏的第三代,单纯指的是‘自动对准分步投影光刻机’的第三代,不是世界的第三代光刻机。
世界第一代:G线光刻机-目前霓康、嘉能的水平
世界第二代:I线光刻机-目前AMSL的水平
世界第三代:DUV光刻机)
在丑、倭专家离开之后,还有很多其他国家的专家也过来考察。
来的人很多,我留意过,几乎国际上所有叫得上名号的厂家都来人了。
在展会上,大家谈得都很开心,外国人对我们的光刻机是十分肯定的,很多专家对我们的研究成果非常佩服。
没想到,他们是当面一套,背后一套。
展会结束不久,国际上便传来消息,限制突然被取消了,中夏的单位可以进口分布投影光刻机了。
丑国和倭国厂商有钱的很,他们的设备卖得便宜,还有福利,只要是中夏的企业购买光刻机,领导就可以出国参观考察,顺带旅游,厂商承担领导来回的机票、住宿和一切花费。
买进口设备便宜不说,还能出国开开眼界,你说这谁能顶得住?
所以,人家要取消订单、改买进口设备也是情有可原,我也不能怪人家,谁家的钱都不是大风刮来的。
只是,我们的订单都被取消了,没了国内单位的订单,我们的光刻机也就没了市场,这还没有正式投产就夭折了。
可惜我们研究了这么多年,统共就生产了三台,唉。”
张思明听了徐端颐和他项目的经历,也颇觉内心不是滋味,他随问道:
“徐教授,要是你们有条件继续研究下去的话,有没有希望能研发出最先进的光刻机?”
徐端颐沉吟片刻,谨慎地回答:
“虽然我们的光刻机与倭国霓康、嘉能这些大厂商的G线光刻机还有着一定的差距,但这个差距并非不可逾越的天堑。
我相信,只要给我们时间和经费,我们一定能追上。
只是,我们一直在国内,没有什么机会到外面去学习交流,也不知道现在的国际最高水准是什么样子,有没有厂商做出了I线设备。
单是这样闭门造车,不知道外面的世界多么广阔,实在是不敢妄言一定能做到最先进的水平。
不过,我可以保证的是,我们团队的研发能力和学习能力是很强的,我们不怕吃苦,特别能克服困难。
我们团队研究光刻机的条件很艰苦,完全是从零开始,当时国内没有任何研发光刻机的经验给我们借鉴,成员们也都没做过光刻机,都是凭着各自专业内的知识和经验,一边学,一边干。
我们都是拿着死工资,没有一分钱的奖金,也没有加班费,但所有成员都有很强的奉献精神,主动加班加点,没日没夜地苦干。
除了缺乏技术和经验,我们还缺设备。
可以说,用来造光刻机的高端设备和精密仪器,我们都没有,外国全都不卖给我们,国内也不能生产。”
“那怎么办?”
“还能怎么办?我们只能自己设计,再自己制造。”
“啊,我虽然不是很懂技术,但我知道光刻机是一个很复杂的机器,精度很高,用到的设备也很多,像是什么特殊气体啊、激光啊、光学仪器啊之类的,这些都要你们自己造吗?”
“对,我们也是被逼得没办法了。
举几个例子:
为了解决第一代光刻机的‘超高精度测量定位’这个问题,必须采用一种叫作‘工业用数字式激光干涉仪’做平面坐标精密定位控制系统,像这个干涉仪就属于尖端技术产品,国内生产不了,但又非得用不可,我们只能自己制造。
我们先研制这种干涉仪用的可稳频的氦-氖气体激光器,然后一步步地做精密导轨、丝杠、滚珠、步进电机、数字控制用的计算机、光学系统、大孔径的投影物镜等,这些器件都是我们团队成员自己研制的。
我们先画出图纸来,检查好设计没问题后,再一个螺帽、一个螺母地在车间里打样,合格了以后再在学校精密仪器系的工厂规模生产。
在我们做第二代光刻机的时候,当时这种分步投影光刻机在国外也还处于研究阶段。
我们靠着自主研发,独立研究出了气动自动调焦技术、暗场同轴自动对准技术、亚微米级大视场投影光刻物镜设计等一系列技术,这些研究都处于当时的世界先进水平。”
说话间,徐端颐从抽屉里拿出一叠文件,翻到其中一页,一边指给张思明看,一边解释:
“可以说,我们不仅研制了光刻机,还把生产光刻机所用的微细加工专用设备都生产出来了。
像是分步重复照相机、铬版精缩机、图形发生器、电子束曝光机这些,都是成套的集成电路前序加工设备,几乎集中了近代最高的光学微细加工、精密机械、测试、自动控制领域上的技术。
也是因为这个原因,国家在我们学校成立了微细工程研究所,用来研发微细加工技术和专用设备。
微细加工技术不单是能用在集成电路制造上,在信息学、生物学领域也能用得上。
所以,在我们光刻机项目没了之后,我还能用现有的微细设备开展光盘存储技术的研究……”
徐端颐好像还没忘记他那个光盘项目,说到最后,又绕回了光盘研究上。
张思明有点哭笑不得:
“徐教授,像你们团队这是把光刻机这条产业链都跑通了呀。
你们团队正好是我们元亨需要的人才,我们集团的实力也是摆在这的,那个光盘项目究竟有什么魔力,能惹得您老这么念念不忘?”
徐端颐心虚地看了一眼王院长和系主任,没有说话。
系主任知道徐端颐的顾虑,他站出来说了说徐端颐的情况。
原来,此时的水木大学研究经费吃紧,徐端颐刚被砍了一个光刻机项目,想继续研究光盘项目,却申请不到经费。
徐端颐和老婆商量,寻思着贷款搞研究。
然而,到银行贷款需要房产等不动产做抵押,但徐端颐一家住的是学校分配的员工宿舍,哪有什么能抵押出去的“不动产”,所以徐端颐只能在学校内部想办法。
无奈之下,徐端颐只好求爹爹告奶奶地在学校找其他项目负责人借钱,最后,好不容易,经学校的财务处协调,徐端颐从科研处借到了60万的贷款,这笔钱是必须要还的。
徐端颐两口子属于高工资,徐端颐在水木的工资是每个月800元,老婆是医生,一个月500元,但和这60万贷款比起来就是毛毛雨了,一旦徐端颐研发失败,家里还都还不起。
张思明听完后,豪气地小手一挥:“徐教授,这好办。我听系主任说,你这光盘项目反正还没开始。正好你把贷款申请取消,到我们元亨来,不就行了?”
徐端颐又看了一眼王院长,发现王院长没有不悦的神色,才颇为拘谨地说道:“我和团队成员都是学校的人,我们都要服从学校的安排。”
王院长立刻笑眯眯地说道:
“学校对徐教授和团队成员到元亨工作是非常支持的。
徐教授,你们的光刻机项目就这么终止了也太过可惜,到需要的地方去发光发热也好。”
徐端颐没想到学校这么爽快地就要放人,这可是上百号研究人员呀!
他张了张嘴,想说什么,最终却没说出口。
见状,张思明看明白了,徐端颐心里是有所顾虑,他直接说道:“徐教授,我们集团是诚心邀请,你要是有什么不放心的,现在就说出来,我肯定能给你个满意的答复。”
徐端颐见张思明说得诚恳,一咬牙,也将自己的顾虑说了出来:
“张总,我并不是怀疑元亨集团的实力,也不是质疑赵总想做好半导体的决心。
只是,做半导体企业和造光刻机还是不一样的,尤其在洪港建的还是制造芯片的晶圆厂,这就跟造设备的关系更远了。
说实话,国际上卖制造设备的厂家有很多,如果是想做企业的话,直接买人家的设备就行了,也不一定要自己造。
咱自己造,费时费力不说,就算造出来,可能也没有外国的先进。
企业还是要赚钱的,光刻机的技术太复杂,制造难度太高,一时半会看不到收益。
别说企业了,就是国家,这烧钱法也支撑不住。
在80年代初,国家正策变化,导致国家对电子工业变少,没了上面的经费支持,许多光刻机项目都终止了。
我们项目今年才停,已经算是很好的了,我其实不该抱怨什么了。
像是午汉的无线电元件三厂,曾经编写过《光刻掩模版的制造》这本书,他们厂有一段时间卖副食品去了。”
张思明语重心长地说道:
“徐教授,我明白你的顾虑。
我们赵总一直说,‘靠山山倒,靠树树摇,淌自己的汗,吃自己的饭,自己的事情自己干。’。
虽说我们现在能买到进口设备,但并不是最先进的设备。
咱总有一天是要发展起来的,总不能老跟在别人屁股后面吃灰,没有最先进的设备哪行?
这就是他们的计谋,他们就是让我们放弃研发自己的技术,什么都买他们的。
现在卖我们的价格低不要紧,等他们拿捏住我们的命脉了,他们说多少钱,咱们就要给多少钱。
实不相瞒,我们赵总现在正在丑国,正在寻找一些国际上的专家加入我们。
不久之前,正在丑国ICM工作的林本间博士答应赵总回浅川工作,但前提是要有相应的研发设备和人员。
徐教授知道林本间博士吗?”
听闻“林本间”的大名,徐端颐激动地说道:
“知道,这位是光刻技术领域的大拿,早在1975年,林博士就做出当时光刻领域最短波长的光线,他将这种光线命名为深紫外线,简称‘DUV’。
没想到,赵总竟然能把林博士请回来!”
“还不能说已经请了回来。
集团在洪港建晶圆厂,在浅川建研发中心,设备好解决,咱们赵总有钱,实在不行在丑国研究也行,主要是人员不好解决。
赵总请了很多牛人回来,但是专精光刻技术的人才比较少,如果徐教授和团队来了,正好可以解决我们赵总的燃眉之急。
这样一来,我们赵总就更有把握把林博士请回来了。
不知道徐教授有没有兴趣和林博士一起搞研究?”
和林本间这样世界顶尖大牛一起研究的吸引力太大,让徐端颐很难说出拒绝的话。
内心深处,徐端颐也是非常渴望和团队成员一起继续研究光刻机的。
而且,赵总都要请林本间回来了,足以表明元亨研发光刻机的决心,不然林本间是不会同意邀请的。
这样想着,徐端颐说道:“如果学校同意的话,我是愿意到元亨工作的,就是要麻烦学校再把我那些团队成员召集回来。”
王院长笑道:“好说,徐教授,你最近就收拾收拾东西,大家到浅川汇合。”
张思明补充道:
“徐教授,原则上,我们是建议把家人也一起带到浅川的。
到了浅川以后,公司会帮忙安排好一切,家人工作、孩子上学都不需要担心,你们的待遇也会很好。
具体的,这两天公司会有专人上门接洽。”
然后,张思明转向王院长,笑眯眯地说道:
“王院长,这次还是要感谢水木鼎力相助。
我们一次性借调这一百多名研究人员也着实不太好意思
这样吧,我代表我们赵总和元亨集团,为咱们学院精密仪器系捐款五百万,算是略表一下心意,您意下如何?”
王院长心里直呼“讲究人呐!”,面上却略显为难,推辞道:“啊,这怎么好意思……”
“这是一定要的,我们这里还有其他项目需要用人,如果学校连这点补偿都不肯收,我以后哪还好意思来水木借调研究人员?”
虽说名义上是借调,但双方都心知肚明,这借出去的人就是泼出去的水,相当于是水木大学的赞助,大概率是不会再回来了。
不过,水木大学也不缺人才,尤其是像徐端颐这样被砍掉的项目组,基本上就成了水木的负担,水木还要费心安置。
水木这两年经费吃紧,很多项目都申请不下来研究资金,放这些“累赘”出去自谋生路也是个不错的选择。
经过一阵推拉,最终,这五百万捐款还是被接受了,双方皆大欢喜。